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半导体晶体生长测温仪

描述:半导体晶体生长测温仪IGAR 6-TV Smart宽温度范围和多种操作模式:
单色模式: 100 ... 2550 °C
双色模式: 250 ... 2550 °C
智能模式: 根据温度自动在单色和双色模式调节

更新时间:2022-10-31
访问次数:75
厂商性质:代理商
详情介绍
品牌其他品牌价格区间5万-10万
应用领域能源,电子

IGAR 6 Smart红外高温计是一种数字,紧凑和快速的高温计,根据不同的要求,可以在不同的模式下工作。 除了单色模式(100 ... 2550°C),还可以选择双色模式(250 ... 2550°C)或特殊的智能模式。在智能模式下,在100 ... 2550°C范围内的测量将采用单色模式,而在250 ...2000°C的范围内,测量将采用双色方法(比例法)。 在此模式下,用户可以设置温度。此时仪器从 单色模式转换到 双色模式(低转变温度:250°C,最小转变范围:30°C)。在双色模式(比例法)中,两个相邻的波长用于温度确定。 与标准单色高温计相比,该技术具有以下优点:温度测量在很大程度上独立于对象的发射率并且在大范围内不受视场中的灰尘和其它污染物的影响。 测量对象可以小于光斑尺寸。

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可解决的问题

  • 被测物可能被离子云包裹

  • 多次加热工况中,对测温仪重复性与稳定性要求高

  • 衬底材料会发生变化,要求测温仪有不同的应对方案

  • 须透过视窗测量,最好推荐使用红外视窗材料

场景特点

  • 需维持在高温状态(LPCVD 500~800℃,MOCVD 500~1200℃)

  • 生产过程中随着反应状态的变化,温度也需进行调整,故而对测温仪的响应速度要求较高

技术参数

测温范围:

 单色: 100 to 2550 °C

 双色: 250 to 2550 °C

 子范围:任何温度范围内可调范围,最小量程50°C

 波段:Channel 1: 1.5 ... 1.6 μm;Channel 2: 2.0 ... 2.5 μm

 发射率:0.050 到 1.000 ,0.001调节(单色模式)

 分辨率:

 在串口处:0.1°C;模拟输出:<所选子范围的0.0015%,最小。 0.1℃,16位; 1°C或1°F

 镜头:可从后盖手动对焦测量距离a = 210 至5000 mm

 环境温度:0 to 65°C 外壳

 存储温度: -20 to +80°C

 连接:12针连接器

 防护等级:IP65 (IEC 60529)

 环境温度: 0 to 65°C 外壳

 存放温度:-20 to 80°C

 模拟输出:可调0至20 mA或4至20 mA,线性(通过数字接口)





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