UV400 GaN基外延片测温仪用于GaN基外延的晶圆表面温度和反射率真实测量，温度范围650…1300℃

Advanced Energy®的 OR4000E多通道光纤测温仪(OFT)能够自动探测测量材料发射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能，并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用块化设计，可快速量身定制，满足不同的的工艺应用要求。

Sekidenko OR4000T 高温计 Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程，应用于半导体硅片，外延，晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力，支持高达2kHz的读取速率，符合半导体应用中极为严格的要求。 其采用模块化设计，可快速量身定制。

Advanced Energy®的 OR400M光学高温计将Sekidenko产品系列的应用范围扩展至3.3um-5.2um的中红外波长范围。OR400M可进行单通温度测量，用于半导体设备的高精密温度测量，用于硅片，腔室的精确测温。OR400M支持RS-232和模拟数据接口。OR400M设计紧凑，易于集成，可满足许多工艺应用的要求。