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Sekidenko OR4000E半导体薄膜高温计

描述:Advanced Energy®的 OR4000E多通道光纤测温仪(OFT)能够自动探测测量材料发射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能,并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用块化设计,可快速量身定制,满足不同的的工艺应用要求。

更新时间:2024-07-03
访问次数:98
厂商性质:代理商
详情介绍
品牌Advanced Energy/优仪价格区间面议
应用领域电子,交通,汽车,电气,综合

主要特性

优点:


  • 提高可重复性并显著减小误差

  • 提高生产率、产量和生产能力

  • 提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性


特点:

  • ·主动辐射率检测和补偿

  • 温度和辐射率读取速率快

  • ·模块化的结构具有高灵活性

  • ·全套I/O和外部触发器/同步组件


技术参数:

概述:实时,双通道,在测量过程中能实时测量材料发射系数并纠正,补偿测量温度,测量速度高达2kHz
通道配置:1-2通道,透过脉冲发射器实时纠正发射系数,每个通道可单独配置
测温范围:50-3500°C
实时发射系数范围:0.03 至 1.0
测量波长:UV to 2300 nm
读取速率:高达2kHz,在实时发射系数自纠正温度测量模式下可达500Hz
测量精度:±1.5℃
重复精度:±0.1℃℃,正常情况下
分辨率:0.001°C
显示:内置,4x20LCD屏,带键盘输入
数据I/O:RS-232,RS-422/485,and Etherne
模拟输出:t0-10V或4-20mA
控制接口:外部触发输入,同步输出,高低报警
电源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
环境参数:5-40℃,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
重量:2.0kg
安装:底部M3 X0.75螺孔
采样响应时间:2kHz采样速率时<2ms



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