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当前位置:首页产品中心测温仪半导体&薄膜测温Sekidenko OR4000T 半导体高温计

Sekidenko OR4000T 半导体高温计
产品简介:

Sekidenko OR4000T 半导体高温计可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程,应用于半导体硅片,外延,晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力,支持高达2kHz的读取速率,符合半导体应用中极为严格的要求。

其采用模块化设计,可快速量身定制。

产品厂地:上海市

更新时间:2025-01-14

厂商性质:代理商

访问量:782

服务热线

021-52966696

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产品介绍

主要特性

优点:

  • 提高可重复性并显著减小误差提高生产率、产量和生产能力

  • ·提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性


特点:

  • ·主动辐射率检测和补偿

  • 温度和辐射率读取速率快

  • ·模块化的结构具有高灵活性

  • ·全套I/O和外部触发器/同步组件


技术参数:

概述:多通道,高性能,测量速度高达2kHz
通道配置:1-4通道,带可选/固定发射系数,每个通道可单独配置
测温范围:50-3500°C
实时发射系数范围:
测量波长:UV to 2300 nm
读取速率:高达2kHz
测量精度:±1.5℃
重复精度:±0.1℃℃,正常情况下
分辨率:0.001℃C
显示:带键盘输入内置,4x21LCD屏,
数据I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模拟输出:0-10V或4-21mA
控制接口:外部触发输入,同步输出,高低报警
电源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
环境参数:5-40℃,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:2.0kg
安装:底部M3X0.75螺孔
采样响应时间:2kHz采样速率时<2ms




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