产品中心
首页 > 产品中心 > 测温仪 > 半导体&薄膜测温 > Sekidenko OR4000T 半导体高温计

Sekidenko OR4000T 半导体高温计

描述:Sekidenko OR4000T 高温计

Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程,应用于半导体硅片,外延,晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力,支持高达2kHz的读取速率,符合半导体应用中极为严格的要求。

其采用模块化设计,可快速量身定制。

更新时间:2024-07-03
访问次数:84
厂商性质:代理商
详情介绍
品牌Advanced Energy/优仪价格区间面议
应用领域电子,交通,航天,汽车,电气

主要特性

优点:

  • 提高可重复性并显著减小误差提高生产率、产量和生产能力

  • ·提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性


特点:

  • ·主动辐射率检测和补偿

  • 温度和辐射率读取速率快

  • ·模块化的结构具有高灵活性

  • ·全套I/O和外部触发器/同步组件


技术参数:

概述:多通道,高性能,测量速度高达2kHz
通道配置:1-4通道,带可选/固定发射系数,每个通道可单独配置
测温范围:50-3500°C
实时发射系数范围:
测量波长:UV to 2300 nm
读取速率:高达2kHz
测量精度:±1.5℃
重复精度:±0.1℃℃,正常情况下
分辨率:0.001℃C
显示:带键盘输入内置,4x21LCD屏,
数据I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模拟输出:0-10V或4-21mA
控制接口:外部触发输入,同步输出,高低报警
电源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
环境参数:5-40℃,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:2.0kg
安装:底部M3X0.75螺孔
采样响应时间:2kHz采样速率时<2ms



留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
技术支持:化工仪器网   sitemap.xml   管理登陆
©2024 版权所有:上海明策电子科技有限公司   备案号:沪ICP备11011516号-5